#六氟化硫#

气体混合物是混合指根据使用要求，化学气相沉积（CVD）混合物、按一定比例生产的两种或多种纯气体的混合物。普通气体混合物分为普通气体混合物和电子工业用气体混合物。蚀刻混合物和其他电子混合物。